真空检漏设备

真空泵真空设备检漏维修

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深圳锐诚真空技术有限公司座落于广东深圳，在北京、浙江设有******。是一家专门从事各种真空应用设备制造，集研发、生产和销售于一体的民营高科技企业。主营产品：真空设备，检漏仪，微水仪，真空检漏设备，lng抽真空系统，非标真空设备，真空标准件以及真空设备的维护***。

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真空自耗电弧炉熔炼作为公司核级锆材生产的第Yi道工序，其要求的真空度及漏气率非常严格，只有当漏气率达到0.65 Pa/min 以下才允许熔炼，由于真空自耗电弧炉真空部分包括前级真空泵、大小罗茨泵、真空管道以及上炉室和坩埚部分，真空炉室部分容积大，漏点多的特点，任何一个地方发生微小的漏气都可能造成真空度降低而无法满足熔炼工艺要求，因此认为采用上述充压检漏法显然是无法达到检测要求的，通常采用借助于系统自身的真空系统的真空检漏法，目前分厂主要采用氦质谱检漏仪来检测电弧炉的漏点。

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检漏仪原理图中14 检漏口的位置通常可以连接在图1 中虚线A 或B 的位置，因为这两处均能达到检漏仪检漏口小于1000 帕 的工作要求，对于粗检两个位置都能够达到要求，但对于系统的小漏，位置的选择则相当关键，对于核级锆铸锭的生产来说，当漏率介于0.65~1.5帕/min 时更要注意位置的选择。主要原因是由于：该型号的检漏仪分为检测大漏、中漏和微漏，当检漏口14的压强100 帕lt;Palt;1000 Pa 时检漏仪V1 和V2打开，氦气部分分子沿分子泵排气口逆流进入质谱室，因此只有当氦气分子较多时才能被检测到；当压强10 帕lt;Palt;100 Pa 时，检漏仪关闭V2，打开V3，V1 阀，此时氦气分子较多沿4 处分子泵进气口1 逆流进入质谱室中，可以检测到系统的中漏；当Pa lt;10帕 时，检漏仪关闭V3，打来V4、V1 阀，此时氦气分子大部分沿15 处分子泵进气口2 逆流进入质谱室中，达到检测微漏的效果。

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